微纳电子技术研发

• 4英寸工艺线
  • 曙光机
  • 刻蚀设备
  • 沉积设备
  • 蒸发台
  • 旋涂仪
  • 退火设备
• 中间测试设备
  • 电学测试
  • 成分表征
  • 形貌表征
  • 物相表征
  • 膜厚测试
  • 膜厚孔径测试
  • 水接触角
  • 电阻率测试
• 封装平台
• 可靠性测试设备